三坐標(biāo)測(cè)量儀除了定位誤差，直線度誤差，角運(yùn)動(dòng)誤差，垂直度誤差這四個(gè)幾許誤差之外，還有因?yàn)榱ψ冃巍嶙冃?、測(cè)量體系、測(cè)頭體系、控制體系、數(shù)據(jù)記錄和處理體系發(fā)生的誤差：

　　1、力變形誤差

　　三坐標(biāo)測(cè)量儀作為一種精密測(cè)量儀器應(yīng)有較高的剛性，使力變形不成為影響三坐標(biāo)測(cè)量儀測(cè)量精度的重要因素。但隨著各行業(yè)生產(chǎn)節(jié)奏的加快，對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量的效率要求也進(jìn)步了，包括較高的運(yùn)動(dòng)速度和探測(cè)速度，這就要求它的運(yùn)動(dòng)部件質(zhì)量要輕，但這與提高構(gòu)件的剛度存在矛盾。

　　2、熱變形誤差

　　要了解三坐標(biāo)測(cè)量儀的熱變形，首要要對(duì)儀器及被測(cè)物件及環(huán)境的溫度進(jìn)行測(cè)量。為了完成熱變形誤差補(bǔ)償，需求在三根標(biāo)尺上、被測(cè)件上貼測(cè)溫元件，在空氣中也需放置測(cè)溫元件，以查看環(huán)境溫度及溫度梯度是否契合要求。只有在環(huán)境溫度契合要求時(shí)，檢驗(yàn)測(cè)量儀的性能才有意義，同時(shí)三坐標(biāo)測(cè)量儀的測(cè)量精度誤差也會(huì)大大減少。假如條件答應(yīng)，嘉泰精密儀器測(cè)量建議您可以把儀器放置在恒溫室里，控制好室內(nèi)的溫度和濕度即可。

　　為了完成誤差補(bǔ)償，除了測(cè)量溫度外，還必須知道標(biāo)尺和被測(cè)件的等效線膨脹系數(shù)。所謂等效線膨脹系數(shù)是指實(shí)踐機(jī)器中除與材料有關(guān)，還和固定方法有關(guān)，所以通過實(shí)測(cè)得到等效線膨脹系數(shù)既可以更好地反映標(biāo)尺的使用狀態(tài)及熱變形誤差現(xiàn)狀，又契合一致性原則，因?yàn)椴捎猛粶y(cè)溫元件確定等效線膨脹系數(shù)和進(jìn)行誤差補(bǔ)償，消除了測(cè)溫元件溫度標(biāo)定誤差的影響。

　　3、測(cè)頭及附件誤差

　　三坐標(biāo)測(cè)量儀的位移量z是被測(cè)尺寸L與測(cè)端等效直徑d的和（測(cè)量外尺寸）或差（測(cè)量內(nèi)尺寸），因而測(cè)端等效直徑的標(biāo)定具有重要意義。測(cè)端等效直徑的標(biāo)定方法是用測(cè)頭測(cè)量尺寸通過標(biāo)定的規(guī)范球或量塊，儀器移動(dòng)量與規(guī)范球或量塊尺寸之差即為測(cè)端等效直徑。需求指出的是：因?yàn)闇y(cè)桿的彈性變形對(duì)測(cè)球的等效直徑影響很大，因而替換測(cè)桿、加接長桿、接轉(zhuǎn)接體或回轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)角度后，都要對(duì)測(cè)端的等效直徑進(jìn)行重新標(biāo)定。